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戊烷动态配气系统
更新时间：2023-03-20 14:26:36
戊烷动态配气系统主要是稀释氮气、戊烷以及丁烷的多种特殊气体设备。
戊烷动态配气系统
产品简介：主要是稀释氮气、戊烷以及丁烷的多种特殊气体设备。气体的总流量为2000毫升每分钟，配气 精 准 度优于±1%SP，响应时间≤100ms，因气体的特殊性在产品设计与生产的时候，均采用特殊工艺处理。
应用行业：
在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、氧化、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、催化装置、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
