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晶圆氮气加热装置SSGM-1J
更新时间：2024-10-15 14:08:23
晶圆氮气加热装置SSGM-1J主要用于氮气流量控制及加热；该产品具有通用性强、流量控制范围宽、流量控制稳定、加热稳 定 可 靠、控制精度高、操作简单。
晶圆氮气加热装置SSGM-1J
产品简介：主要用于氮气流量控制及加热；该产品具有通用性强、流量控制范围宽、流量控制稳 定、加热稳 定可 靠、控制精 度高、操作简单、移动方便、使用安全可 靠等特点、 适合各个场所使用。
主要特点：
1、氮气流量控制及反馈；
2、氮气温度控制及反馈；
3、氮气入口压力检测；
4、流量控制器后端压力检测及调整；
5、流量、温度、压力实时数据自动记录、保存；
6、流量偏差报警，温度异常报警；
7、具有 modbusTCP 标准通讯协议，可与上位机实现通讯功能；
