质量流量控制器/流量计—微小量程
更新时间:2024-05-15 09:04:50
AC-S030系列的热式气体质量流量控制器/流量计是松盛测控自主研发的一款模拟信号的小量程产品,其量程范围可从10SCCM至30SLM,适用于氢、氮、氧、一氧化碳、二氧化碳、稀有气体等近百种气体。
型号 AC-S030
产品介绍:
AC-S030系列的热式气体质量流量控制器/流量计是
松盛测控自主研发的一款模拟信号的小量程产品,其量
程范围可从20SCCM至30SLM,适用于氢、氮、氧、一
氧化碳、二氧化碳、稀有气体等近百种气体;本产品采
用新型工艺,+24V DC供电,最 大耐压可达10Mpa。
产品性能:
1.响应速度快
2.耐压程度高
3.抗干扰性强
4.数据传输远
5.流量精 准控制
应用行业:
真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、
食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪
器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院
所实验室设备。
注:
定。
2.质量流量单位:SCCM(标准毫升每分钟) SLM(标准升每分钟)
3.标准状况:温度--293.15K(20℃) 压力--101325Pa(760mmHg) F.S(Full Scale)表
示满量程